Système nanocomposite et procédé de recherche de nanomatériaux

REVENDICATIONS 1. La présente invention concerne le domaine des équipements de recherche scientifique de niveau recherche en nanosciences, et en particulier, le domaine d'un système intégré à l'échelle nanométrique et un procédé de recherche de nanomatériaux.

Technique de fond :

2. La nanoscience est une science qui étudie les lois de la physique à moins de 100 nanomètres, et son développement est indissociable du développement et des percées dans le domaine des équipements de recherche scientifique. Les types d'équipements de recherche nanoscientifique couramment utilisés comprennent les équipements de traitement micro-nano, tels que les machines de lithographie, les machines d'exposition aux faisceaux d'électrons, etc., les équipements de contrôle des propriétés physiques, tels que les équipements permettant de modifier les propriétés électro-optiques des échantillons, etc. , et équipement de caractérisation des propriétés physiques, tel qu'un microscope à force atomique, une sonde, une table à aiguilles, un spectromètre, etc.

3. Cependant, les fonctions de l'équipement de recherche scientifique unique mentionné ci-dessus sont relativement simples. Par exemple, la fonction principale de l'équipement de traitement micro-nano est de traiter la structure micro-nano de l'échantillon, et il est impossible d'observer et de caractériser directement la structure micro-nano traitée. De bons échantillons sont retirés de l'appareil pour une caractérisation plus poussée. D'autre part, l'équipement de caractérisation des propriétés physiques ne peut pas effectuer la nanofabrication d'échantillons ou contrôler les propriétés physiques des échantillons, et ne peut fournir la caractérisation que des échantillons qui ont été traités ou des échantillons dont les propriétés physiques ont été ajustées. En particulier, la régulation des propriétés optiques et électriques d'un échantillon est souvent non permanente, transitoire et change dynamiquement avec l'environnement et le temps de l'échantillon. Par conséquent, il est très important d'effectuer un contrôle des propriétés physiques en temps réel in situ et une caractérisation des propriétés physiques de l'échantillon, et c'est la clé pour savoir si la loi de changement du phénomène physique transitoire de l'échantillon peut être observée.

4. À l'heure actuelle, la combinaison d'équipements de recherche scientifique peut résoudre certains des problèmes ci-dessus, tels que la combinaison de la microscopie à force atomique et de la spectroscopie Raman, qui peuvent simultanément caractériser les propriétés physiques de la morphologie de l'échantillon et de la spectroscopie Raman ; microscopie à force atomique et tests électriques La combinaison de la plate-forme peut réaliser la caractérisation des propriétés physiques de la morphologie et des caractéristiques de transport électrique de l'échantillon en même temps. Cependant, l'effet de la simple superposition et de la combinaison n'est pas idéal, et il est toujours impossible de réaliser le traitement micro-nano, le contrôle des propriétés physiques et la caractérisation des propriétés physiques in situ de l'échantillon en même temps, ce qui limite considérablement la recherche sur les propriétés physiques de base des nanomatériaux et la recherche et le développement de nanodispositifs. avec la fabrication.

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